[发明专利]一种自容式穆勒矩阵测量方法和装置在审

专利信息
申请号: 202110511668.2 申请日: 2021-05-11
公开(公告)号: CN113092386A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 廖然;郭志明;马辉;李嘉晋 申请(专利权)人: 清华大学深圳国际研究生院
主分类号: G01N21/21 分类号: G01N21/21;G01N21/01
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 徐罗艳
地址: 518055 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了自容式穆勒矩阵测量方法和装置,包括依次设置于入射光路上的光源、起偏器、分光器、聚焦透镜,设置于分光器的第一出光口一侧的第一检偏器以及设置于出射光路上的出射光收集单元和第二检偏器;其中聚焦透镜设于分光器的第二出光口一侧;分光器将入射偏振光分为两路,其中一路按入射光路经由聚焦透镜后照射到样品,另一路进入第一检偏器进行实时检偏以获取入射偏振光的偏振态;出射光收集单元收集样品被照射后所散射的出射光;第二检偏器对出射光收集单元收集的出射光进行偏振检测,以获取出射光的偏振态,以供用户根据入射偏振光的偏振态和出射光的偏振态,计算样品的穆勒矩阵。
搜索关键词: 一种 穆勒 矩阵 测量方法 装置
【主权项】:
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