[发明专利]一种基于压电效应的柔性应变传感器及其制备方法有效
申请号: | 202110512519.8 | 申请日: | 2021-05-11 |
公开(公告)号: | CN113358016B | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 潘泰松;李嘉成;颜卓程;郭登机;姚光;高敏;林媛 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;G01L1/16;H01L41/047;H01L41/113;H01L41/29 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 吴姗霖 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种基于压电效应的柔性应变传感器及其制备方法,属于电子器件技术领域。本发明针对具有曲折结构的柔性应变传感器,通过对信号输出的电极层进行二次图案化设计,实现相反应力区域地隔离,改善了器件中存在的应变抵消效应,提高区域面积内的有效应变水平,实现了器件在具备高拉伸率的同时,大幅提升器件的电学输出特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 压电效应 柔性 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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