[发明专利]一种局部大面形误差智能补偿干涉检测系统和方法有效
| 申请号： | 202110513987.7 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN112985308B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 薛帅;戴一帆;石峰;宋辞 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01B9/02 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 徐珍妮 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种局部大面形误差智能补偿干涉检测系统和方法，包括波面干涉仪、标准镜头、静态补偿器、自适应光学元件和待测面，波面干涉仪装配有标准镜头；标准镜头以及待测面之间依次设置有静态补偿器和自适应光学元件，波面干涉仪连接远场光强数据读取装置，远场光强数据读取装置读取波面干涉仪获取的远场光强图像并输入到控制器；控制器根据远场光强图像预测并输出面形大误差模式像差拟合系数的推测值；自适应光学元件像差控制模块根据待测面的面形大误差模式像差拟合系数的推测值，生成自适应光学元件的驱动信号，驱动自适应光学元件产生补偿像差，实现待测面面形大误差的智能补偿检测。本发明提高了复杂光学面形加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 局部 大面 误差 智能 补偿 干涉 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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