[发明专利]一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置在审
| 申请号： | 202110515163.3 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113299596A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘一锋;张志强 | 申请（专利权）人： | 清华大学;清华大学山西清洁能源研究院 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 杜权 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置，包括热处理装置本体、卡接板、内置腔、加热丝和内置槽，热处理装置本体的内部设置有内置槽，且内置槽的表面固定连接有若干个防滑垫，内置槽的两侧壁上皆设置有卡接结构，热处理装置本体的内部设置内置腔，内置腔顶端的热处理装置本体内部设置有若干个第二透气孔，第一透气孔的两侧皆设置有推拉门。本发明不仅实现了该薄膜结构太阳能电池的热处理装置使用时限位卡接的功能，实现了该薄膜结构太阳能电池的热处理装置使用时内部便于维修的功能，而且实现了该薄膜结构太阳能电池的热处理装置使用时的防滑功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 结构 太阳能电池 热处理 装置 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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