[发明专利]一种机电一体、具有位置记忆功能的三维在线测量头有效
申请号: | 202110516149.5 | 申请日: | 2021-05-12 |
公开(公告)号: | CN113639699B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 夏灿 | 申请(专利权)人: | 深圳科维新技术有限公司 |
主分类号: | G01B21/24 | 分类号: | G01B21/24;G01B21/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安区松岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种机电一体、具有位置记忆功能的三维在线测量头。其核心机构由复位顶针(34)、测针座(32)、圆柱水平杆(36)、水平记录及调节机构(14)组成。这一核心机构实现了测针座(32)的三维定位、水平保持以及灵活摆动。水平记录及调节机构可以通过上述功能实现对于测针微米级摆动的电平反馈。水平记录及调节机构由六个独立的压电陶瓷叠堆,经过特别的设计可以升降,保持对于圆柱水平杆的支撑。六个压电陶瓷叠堆每次同时输出六个电平数据,经过时间系列成为了系统控制的时间函数。增加相应的触发及测量策略,结合对于这些函数的处理,可以及时、动态的判断三个圆柱水平杆的三维位置。 | ||
搜索关键词: | 一种 机电 一体 具有 位置 记忆 功能 三维 在线 测量 | ||
【主权项】:
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