[发明专利]兼具微区表征功能的便携超高真空低温观测腔及操作方法

摘要

本发明公开了一种兼具微区表征功能的便携超高真空低温观测腔及操作方法，包括多口管状结构的超高真空主腔体，腔体连通有传样杆、吸气泵、手阀、波纹管和玻璃观察窗；波纹管内设有伸入超高真空主腔体内部的冷腔，在冷腔外层端部设有放置UHV样品托柄的存样槽；传样杆伸入超高真空主腔体内部，将UHV样品送入存样架长期保存，或将UHV样品送入存样槽进行光学观测，或将UHV样品转移到其他超高真空装置。本发明在保持样品处于超低温状态，同时吸气泵保证样品始终处于超高真空环境下，调整波纹管可以实现存样槽的轴向移动，调整样品与玻璃观察窗的距离使其足够靠近，实现对样品的大角度观测、微区观测等复杂光学表征。