[发明专利]一种全α相钽涂层的制备方法有效
| 申请号： | 202110517827.X | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113235060B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 陈汉宾;李忠盛;吴护林;丛大龙;黄安畏;杨九州;陈大军;李立;张昭林;付扬帆 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业第五九研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 重庆晶智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 50229 | 代理人： | 李靖 |
| 地址： | 400039 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 一种全α相钽涂层的制备方法，以钽作为溅射靶材，基体材料加热后，在氩气形成的0.6~0.95MPa工作压力下，用霍尔电源对基体材料表面进行轰击，然后调节基体材料正对靶材，加入直流溅射电流14~25A，待靶材起弧稳定后，在基体表面加入直流偏压40~80V，偏电流为60~90A。通过本发明方法，制备出全α相钽涂层，该涂层具有优异的耐腐蚀性能，与基体材料结合强度高、内应力低，可大幅度提高涂层的使用寿命，为工件提供长期有效的防护；该方法降低了制备成本，不采用昂贵惰性气体，也无需进行高温处理；本发明中磁控溅射温度低，适用于多种金属材料，而不降低工件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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