[发明专利]一种在靶材表面形成AR膜层的快速喷涂工艺在审
| 申请号： | 202110519170.0 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113233784A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 韩伟军 | 申请（专利权）人： | 翔实光电科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/30 | 分类号： | C03C17/30;C03C23/00 |
| 代理公司： | 苏州乐赢知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32528 | 代理人： | 吕林峰 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种在靶材表面形成AR膜层的快速喷涂工艺，包括如下步骤：(1)清洗：通过清洗设备对靶材进行清洗；(2)表面处理：高频率高电压的辉光放电，利用等离子对靶材表面进行处理；(3)温度补偿：监测靶材的温度；(4)快速镀膜：通过快速喷涂主机进行快速喷涂，在靶材表层生成浆料涂层；(5)预热干燥：通过一定温度的预热，浆料颗粒发生流平、聚合，形成涂层；(6)高温固化：通过一定曲线的高温固化，形成一定强度的AR膜层。本发明利用快速喷涂在靶材表层形成膜层，达到AR效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 形成 ar 快速 喷涂 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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