[发明专利]一种全无机柔性热敏器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202110520560.X | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113257503B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 孔雯雯;王向斌;轩婷婷;常爱民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01C7/00 | 分类号： | H01C7/00;H01C17/12;H01C17/06 |
| 代理公司： | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所(普通合伙) 65106 | 代理人： | 张莉 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全无机柔性热敏器件及其制备方法，该器件由柔性衬底，沉积于衬底上的缓冲层，沉积于缓冲层上的热敏薄膜，沉积于薄膜上的分形电极及沉积于电极上的绝缘层组成，采用的溅射方法为直流溅射或射频溅射制成，该器件结构简单，质量轻薄，同时薄膜结晶度较好，粗糙度较小，对温度的灵敏度较好，重复性好，操作简单，实现薄膜的较大面积生长，且生长的薄膜均匀性较好。为柔性热敏器件的研究和开发奠定了基础。通过镀膜工艺与半导体工艺的兼容，实现光刻和离子刻蚀，从而能够更高效的实现柔性器件的产业化生产，实现了热敏薄膜从基础研究向实用化研究转变的过程。适用于各种热敏薄膜，对各类薄膜型热敏电阻器的开发均具有普适性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无机 柔性 热敏 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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