[发明专利]多色堆叠台阶式背出光Micro-LED显示器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202110520622.7 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113224212B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;施根俊;陶涛;张荣 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L33/08 | 分类号： | H01L33/08;H01L33/06;H01L33/20;H01L33/46;H01L33/44;H01L33/04;H01L33/00 |
| 代理公司： | 江苏斐多律师事务所 32332 | 代理人： | 张佳妮 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多色堆叠台阶式背出光Micro‑LED显示器件，其结构包括：一蓝光LED外延片；若干组发出不同颜色光的InGaN多量子阱结构；在每个多量子阱上下均形成p‑n结；所述Micro‑LED显示器件刻蚀成台阶结构，每级台阶发出不同颜色的光，在每级台阶上形成n/p型GaN电极接触层，使得上下相邻两组多量子阱共用一个n/p型GaN电极接触层，并键合驱动电路，使得驱动电路实现对每级台阶的单独控制。本发明选择在MOCVD生长的蓝光LED外延片上用MBE二次外延绿光和红光多量子阱结构，可以在不破坏已有蓝光LED结构的情况下，实现RGB三色发光。MBE生长的p型层也不需要高温退火激活处理。 | ||
| 搜索关键词： | 多色 堆叠 台阶 式背出光 micro led 显示 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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