[发明专利]金属-氧化物-金属电容器的制作方法在审
| 申请号： | 202110520984.6 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115346953A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 陈书基;封晶;蒋晓宏;戴锦华 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属‑氧化物‑金属电容器(Metal‑Oxide‑Metal capacitor，MOMCAP)的制作方法，包括下述步骤:首先，根据第N层预期电容值，在基材上方形成第N层金属层；再计算第N层金属层的第N层实际电容值与第N层预期电容值之间的第N层电容误差值。根据第N层电容误差值调整第N+1层金属层的第N+1层预期电容值。以及根据调整后的第N+1层预期电容值，在第N层金属层的上方形成具有第N+1层实际电容值的第N+1层金属层，且使第N层实际电容值和第N+1层实际电容值的加总等于第N层预期电容值和第N+1层预期电容值的加总。其中，N为大于1的整数。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 电容器 制作方法 | ||
【主权项】：
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