[发明专利]一种8寸快拆式电镀夹具在审
| 申请号： | 202110521483.X | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113235151A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘金升;夏前刚;谢延峰 | 申请（专利权）人： | 苏州施密科微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D7/12 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种8寸快拆式电镀夹具，包括主体，主体上设有依次叠加设置的导电圈、硅晶片、卡环、中间盖板与盖板主体，盖板主体远离中间盖板的另一端设有拉手，拉手一端设有与之连接的拉手底座。本发明的有益效果：通过快拆把手带动载具密封盖旋转压着放入的晶圆片使其密封，然后利用选卡机构使其紧密的贴合在一起，导电片的多电极设计和多点式接触晶圆片，使其电流流场密度更加的均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寸快拆式 电镀 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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