[发明专利]一种TOPCon电池及其制作方法

摘要

本申请公开了一种TOPCon电池及其制作方法，该方法包括获得TOPCon电池的半成品；半成品包括硅片，位于硅片背面的隧穿氧化层、掺杂多晶硅层、背面钝化层，位于硅片正面的发射极层、正面钝化层；在半成品的正面对应正面细栅线的位置开槽，形成槽孔；在半成品的背面制备背面主栅线和背面细栅线；利用电镀方式在槽孔中制备铝细栅线；在半成品的正面制备正面主栅线，并对半成品进行烧结，得到TOPCon电池。本申请的方法利用电镀方式在正面形成铝细栅线，降低制作成本，且可以精准控制铝细栅线的宽度及高宽比，提升铝细栅线的塑性。