[发明专利]射频电源控制系统及其校准方法、装置和半导体设备有效
| 申请号： | 202110522807.1 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113406527B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李加波;周航;李光健 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/40 | 分类号： | G01R31/40 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频电源控制系统及其校准方法、装置和半导体设备。该校准方法包括：获取射频电源的待校准信号的采集值的第一初值校准值和第一满量程校准值，待校准信号包括前向功率信号、反射功率信号和控制信号中的至少其中之一；获取待校准信号的反馈输出值的第二初值校准值和第二满量程校准值；根据第一初值校准值、第一满量程校准值以及待校准信号的满量程值对待校准信号当前的采集值进行校准，以获取待校准信号的实际采集值；根据待校准信号的实际采集值、第二初值校准值、第二满量程校准值以及待校准信号的满量程值对待校准信号当前的反馈输出值进行校准，以获取待校准信号的实际反馈输出值。实现提高控制精度和控制一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电源 控制系统 及其 校准 方法 装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
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