[发明专利]一种掺钨氧化铟薄膜的制备方法以及采用该薄膜制成的柔性钙钛矿太阳能电池

摘要

本发明涉及了掺钨氧化铟薄膜的制备方法，以固体IWO颗粒为原料。本发明还涉及一种大面积柔性钙钛矿太阳能电池，以柔性聚酰亚胺（PI）薄膜为基底，在上面利用上述空心阴极离子镀沉积IWO导电薄膜作为电极；在IWO电极上使用热蒸镀的方法依次蒸镀酞菁铜（CuPc）空穴传输层、CsBr以及PbI2，然后与FAI进行化学气相沉积反应生成钙钛矿吸光层；在钙钛矿吸光层上依次蒸镀C60电子传输层、浴铜灵（BCP）缓冲层以及银电极从而完成器件的制备。本发明实现了在大面积耐高温柔性聚酰亚胺基底上沉积钙钛矿太阳能电池，对柔性钙钛矿太阳能电池的制备具有科学指导意义。