[发明专利]一种硅终端金刚石表面的制备方法有效
| 申请号： | 202110525235.2 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113278912B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 刘康;乔鹏飞;朱嘉琦;代兵;张森 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58;C30B33/02;C30B33/10 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种硅终端金刚石表面的制备方法，本发明是为了解决现有金刚石的氧化是以一种不可控和无序的方式产生多种碳氧键结构，导致了不可控的表面电子态以及随后的对近表面缺陷色心光物理特性的损伤效应的问题。制备方法：一、对金刚石样品进行超声清洗；二、对清洗后的金刚石进行高温真空处理；三、采用磁控溅射在退火后的金刚石表面沉积硅膜；四、将镀硅的金刚石封管，高温加热处理；五、将金刚石放于HF中浸泡处理，完成金刚石表面硅终端的制备。本发明硅终端金刚石表面的制备方法可避免等离子体及湿化学刻蚀方法的随机性，使成键方式相对可控有序，制备工艺较为简单，周期短，可重复性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 终端 金刚石 表面 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110525235.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
