[发明专利]一种用于外场试验的便携式等离子体实验装置在审
| 申请号： | 202110525934.7 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113194593A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘祥群;刘宇;余鹏程;张逍;雷久侯;曹金祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于外场试验的便携式等离子体实验装置，包括平装探针或其它传感器(1)，机械泵浦(2)，便携式气压计(3)，等离子体发生装置(4)，高频电源(5)，和气源(6)；等离子体发生装置(4)一端设置有三通接口，其中三通接口的第一接口为探针端口(7)，三通接口的第二接口连接机械泵浦(2)，三通接口的第三接口连接便携式气压计(3)；等离子体发生装置(4)的另一端连接气源(6)；空心螺线管(11)缠绕在等离子体发生装置(4)的外表面上；高频电源(5)与空心螺线管(11)相连接。本发明装置尺寸较小，但构造巧妙，操作简单，等离子体分布区域满足探针测量，能够长时间稳态工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外场 试验 便携式 等离子体 实验 装置 | ||
【主权项】：
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