[发明专利]外延生长装置在审
| 申请号： | 202110525995.3 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113463190A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 三重野文健 | 申请（专利权）人： | 顾赢速科技（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/16;C30B25/10;C30B28/14;C30B29/06;C30B29/36;C30B29/40;C30B29/52;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 230093 安徽省合肥市经济技术开发区清*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了外延生长装置，其特征在于包括反应腔室和真空锁，反应腔室具有若干个加热器排列成圆圈，反应腔室具有进气和排气通路，反应腔室还设有分隔装置能够喷出气体来屏蔽每个加热器，反应腔室还设有晶圆装卸器装卸加热器上的晶圆；真空锁中具有晶圆匣用于运送晶圆。本发明提高了外延工艺的产能通量。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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