[发明专利]一种新型3-PSS三维平动柔性并联微动平台

摘要

本发明公开了一种新型3‑PSS三维平动柔性并联微动平台，包括机架、压电陶瓷运动平台、移动滑块、柔性球铰、连杆、动平台。压电陶瓷运动平台一共有三个，分别控制三个滑块在压电陶瓷运动平台上做竖直方向的直线运动。连杆和滑块之间以及动平台和连杆之间都是通过柔性球铰连接，每个滑块上的两根连杆构成平行四边形，连杆又作用于动平台，最终带动动平台运动，实现机构的动平台精确移动。本发明由于柔性铰链具有无间隙、无摩擦、和无润滑等一系列优点，使得由柔性铰链作为被动副所构建的机构具有高分辨率和高重复定位精度的特性。本发明的新型3‑PSS柔性并联微动平台可以在工作空间内提供微米级运动精度。