[发明专利]一种原位力学测试芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202110526921.1 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113218982B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 聂萌;黄语恒;尹奎波 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/04;G01N3/32;G01N3/08;G01N3/06;G01N3/02;G01L1/14;G01B11/16 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 任志艳 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位力学测试芯片及制备方法，包括平行板静电执行器和热执行器，所述平行板静电执行器和热执行器均关于同一条对称轴对称，热执行器沿对称轴方向运动；热执行器上设置有第二样品台，第二样品台随热执行器沿对称轴方向运动；平行板静电执行器包括第一样品台；第一样品台随平行板静电执行器沿垂直于第一样品台所在平面的方向运动；所述第二样品台朝向第一样品台的端面上开设有第一凹槽，第一样品台位于第一凹槽中，且第一样品台与第二样品台之间有间隔，样品台设计为交叉结构；驱动结构分别是热执行器和静电执行器，静电执行器上下极板间可以产生静电斥力和静电引力，实现静电执行器上极板在样品厚度方向上下运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 力学 测试 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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