[发明专利]一种具有能量回收功能的极紫外收集镜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110528276.7 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113219794B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 姚舜;喻波;邓文渊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/08;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/14 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请提供的具有能量回收功能的极紫外收集镜，包括：基底、设置于所述基底上的多层膜、设置于所述多层膜上的表面反射微结构及沉积于所述表面反射微结构的红外反射层，本发明提供的极紫外收集镜，当红外反射层指向主焦点点时，来自主焦点的红外光正入射反射面被反射回主焦点点，再次轰击靶材实现了能量的回收再利用，提高能量利用率；另外，本发明提供的极紫外收集镜，能够提供减少从IF点进入系统的红外光，进而实现极紫外光源的光谱纯化，且在极紫外波段的能量损失较小。另外，本申请提供的具有能量回收功能的极紫外收集镜的制备方法，制备工艺简单，易于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 能量 回收 功能 紫外 收集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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