[发明专利]一种大尺寸激光光斑检测装置及方法在审
| 申请号： | 202110528330.8 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113740032A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张阔;陈飞;潘其坤;郭劲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大尺寸激光光斑检测装置，属于激光器技术领域，包括M×N个测量单元，基座，M×N个热电阻，数据采集与处理单元；测量单元包括导热体和隔热基质；所述基座用于安装固定各个测量单元，各个导热体远离测量靶面的一端与对应的热电阻一一相连，各个热电阻与数据采集与处理单元电性连接。本发明还提供一种大尺寸激光光斑检测方法。本发明的大尺寸激光光斑检测装置及方法，将待测激光离散化后，采集各个测量单元对应的温度数据，得到温度分布，然后通过数学方法，将温度分布与测量单元的位置、尺寸等耦合，进而可获得激光的光斑尺寸与能量分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 激光 光斑 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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