[发明专利]基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置在审
| 申请号： | 202110529251.9 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113340212A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 魏相宇;唐锋;王向朝;郭福东;冯鹏;陈梦来 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，通过在一侧干涉仪光路中加入相干性抑制单元，使得对侧干涉仪的输出光与本侧干涉仪的测量光、参考光不相干，不能发生干涉；或对侧干涉仪输出光与本侧干涉仪测量光、参考光等效不发生干涉，仅产生背景直流量，不影响干涉相位的提取。本发明不改变双侧干涉仪系统的光路结构，有效利用了光学系统的数值孔径，简化了系统工作流程，具有测量精度与效率高，分光方式灵活等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉仪 形貌 厚度 检测 装置 | ||
【主权项】：
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