[发明专利]飞秒激光诱导气体电离的等离子体参数的测量方法及系统有效
| 申请号： | 202110529409.2 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113341708B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 江浩;张林;刘佳敏;刘世元 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;H05H1/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 祝丹晴 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光诱导气体电离的等离子体参数的测量方法及系统，将皮秒激光作为探测光对飞秒激光诱导气体电离所得的等离子体的动态演变过程进行探测，并基于夫琅禾费衍射和菲涅尔衍射理论建立衍射模型；将探测到的衍射光谱与基于衍射模型得到的衍射光谱进行拟合，得到探测光相移频域演变，进而得到等离子体参数的时域演变；本发明可在单发测量内获取等离子体的时空演变过程，在测量过程中无需调节装置中的延迟线重复测量，极大地简化了操作过程，节省了测量时间，降低了测量误差，提高了检测精确度；并且，本发明只需要单次拟合衍射光谱，便可计算获取等离子体参数的时域演变，无需多次提取拟合，极大程度上提高了参数获取速度。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 诱导 气体 电离 等离子体 参数 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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