[发明专利]一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法在审
| 申请号： | 202110529681.0 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113253572A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 匡翠芳;曹春;沈小明;邱毅伟;黄宁;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法，其特征在于智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶组份中包含一种可逆光敏引发剂，其具有可逆光敏性，在350‑550nm波长光源的刺激下，可逆光敏引发剂可以发生结构构象转变，失去对700‑1000nm飞秒激光的非线性吸收能力，变成失活状态，从而控制光刻胶的光化学反应，以获得更高的光刻精度，智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶，按质量百分比计，包括0.1‑6wt%可逆光敏引发剂A和94‑99.9wt%树脂B。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 可逆 光敏 性飞秒 激光 光刻 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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