[发明专利]一种凝视型共聚焦显微形貌光谱四维探测系统

摘要

本发明公开一种凝视型共聚焦显微形貌光谱四维探测系统，包括激发单元，前置光学单元，显微成像单元，中部扫描单元，后端接收单元；待测样品的激发光从激发单元导入，入射到中部扫描单元；中部扫描单元的振镜系统进行二维扫描，出射的激发光经过分束镜的反射入射到显微物镜，并聚焦待测样品；反射的光经过成像形成共轭显微图像；信号荧光或反射光返回后一路最终出射到外部光电探测器中，另外一路信号荧光或反射光入射到高光谱分光模组，形成荧光图谱或者反射图谱。系统将三维显微形貌和荧光或反射图谱数据融合成四维光谱形貌显微数据，具有极高的光谱分辨率和深度分辨率，对于原位微生物探测、工业样品微结构检测等测量领域具有巨大的应用价值。