[发明专利]一种基于ANSYS软件的传感器电容误差评估方法

摘要

本发明属于传感器和计算机技术领域，具体的说是涉及一种基于ANSYS软件的传感器电容误差评估方法。本发明首先建立传感器仿真模型，划分网格，施加压力载荷，进行静态结构力学仿真，得到中心挠度仿真值W，计算中心挠度理论值W0；判断中心挠度误差是否满足要求，如果不满足则继续优化网格质量；采取微元电容离散法来计算电容仿真值C，计算电容理论值C0；比较电容理论值C0和仿真值C，判断电容误差是否满足要求，如果满足，则误差评估结束；如果不满足，则继续判断仿真电容误差能否满足要求；如果仿真电容误差满足要求，继续优化网格质量，如果不满足，继续优化电容计算方法。本发明克服了目前传感器误差评估中仅有的应力和形变的误差评估的不足之处。