[发明专利]一种用于片上网络互连的光开关在审
| 申请号： | 202110533915.9 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113238397A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 胡聪;张斌;吉金月;朱爱军;许川佩;黄喜军;万春霆;陈涛 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02F1/01;G02F1/00 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 陈跃琳 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种用于片上网络互连的光开关，由二氧化硅衬底、开关波导和2个总线波导组成；开关波导由硅层、下二氧化铪层、氧化铟锡层、上二氧化铪层和金属电极层自上而下叠加而成；2个总线波导均为硅层；开关波导和2个总线波导在二氧化硅衬底的上表面呈相互平行设置，且2个总线波导分别位于开关波导的两侧，2个总线波导与开关波导均存在间隙；开关波导的硅层和金属电极层同时与正电极相接，开关波导的氧化铟锡层与负电极相接。本发明具有尺寸小和功耗低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 网络 互连 开关 | ||
【主权项】：
暂无信息
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