[发明专利]一种通过热处理调控大斜切角氮化铝薄膜缺陷的制备方法在审
| 申请号： | 202110535937.9 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113215531A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 岳洋;孙茂松;张纪才;孙文红 | 申请（专利权）人： | 广西大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 南宁市吉昌知识产权代理事务所(普通合伙) 45125 | 代理人： | 滕艺琼 |
| 地址： | 530004 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种通过热处理调控大斜切角氮化铝薄膜的缺陷制备方法：(1)对放置有蓝宝石衬底的溅射腔室抽真空；(2)通入气体，升温加热衬底，调整腔室压强设置溅射功率，在蓝宝石衬底上溅射沉积氮化铝薄膜；(3)将氮化铝薄膜以面对面贴合的方式放置，通入保护气，恒温退火；(4)冷却至室温后取出，即得退火后的氮化铝薄膜。本发明制备方法能够获得改善外延膜质量最佳的衬底类型，为薄膜外延生长提供指导意义；本发明具有成本低、操作简单等优点，可以广泛推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 热处理 调控 斜切 氮化 薄膜 缺陷 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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