[发明专利]一种表面轮廓成像装置及成像方法有效
| 申请号： | 202110536383.4 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113267142B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 王毅;张鑫超;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;王一洁;赵效楠;郭晓锋 | 申请（专利权）人： | 东北大学秦皇岛分校;苏州中科行智智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 刘俊玲 |
| 地址： | 066004 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面轮廓成像装置及方法，涉及光学干涉检测技术，低相干光源发出的光束进入耦合器再进入扫描模块，经过扫描模块后的光束进入3D成像模块；3D成像模块中的分光棱镜将光束分成样品光和参考光，参考光进入参考光模块；由样品和参考光模块反射的光束经原路返回至耦合器，返回至耦合器的光束从耦合器的另一端进入光谱仪形成干涉光谱；由计算机处理形成样品表面的3D轮廓分布；2D成像模块采集样品表面2D图像并将信号传至计算机。本发明使用相对较窄的低相干光源，实现大测量范围高分辨率测量及成像，且成本低；2D成像和3D成像结果融合，实现3D结构和2D彩色双模式成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 轮廓 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
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