[发明专利]一种测量薄膜厚度与折射率的装置及方法有效
| 申请号： | 202110536390.4 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113175887B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王一洁;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;赵效楠;王毅;周越;焦智成 | 申请（专利权）人： | 苏州中科行智智能科技有限公司;东北大学秦皇岛分校 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/01;G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 杨兰兰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测量薄膜厚度与折射率的装置和方法，属于光学测量领域。本发明装置包括低相干光源、分光组件、反射镜、样品槽、光谱仪和信号处理单元，从低相干光源发出的光进入分光组件，经分光组件将光分为参考光和样品光。参考光照射在反射镜上；样品光垂直于样品槽侧面射入样品槽。经反射镜反射的参考光，以及经样品槽和待测样品反射的样品光反射进入分光组件，并输出进入光谱仪。结合傅里叶变换的频率和相位进行解调，分别测量样品槽空置、放置样品后的光程，对于薄薄膜，还在样品槽倒入折射率已知液体进行光程测量。本发明基于相敏光学相干层析的测量方法，具有纳米级精度、操作简单、可适用于各种状态薄膜的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 薄膜 厚度 折射率 装置 方法 | ||
【主权项】：
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