[发明专利]一种等离子体接枝共聚膜层的镀膜装置有效
| 申请号： | 202110536954.4 | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN113299534B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 梁宸 | 申请（专利权）人： | 佛山市思博睿科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B05C9/02;B05D1/00 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;邹蕴 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区桂城街道平*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体接枝共聚膜层的镀膜装置，具备射频电源、反应单元、抽气单元及配气单元；反应单元内部形成为供反应的腔室；射频电源安装于反应单元外部且与反应单元的腔室连通；抽气单元安装于反应单元外部且与反应单元的腔室连通；配气单元安装于反应单元外部且通过供给管路与反应单元的腔室连通；在反应单元的腔室内靠近射频电源的位置处设置狭缝天线。根据本发明，可产生高密度且均匀一致的表面波等离子体，基于表面波等离子体化学气相沉积方式在基材表面生成接枝共聚膜层，大幅提高产品膜层厚度的均匀性，改善批量处理产品的良率，尤其对于具有复杂曲面的工件具有良好的成膜特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 接枝 共聚 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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