[发明专利]一种导电有机旋转靶材及靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110540099.4 | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN113249695A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 徐从康;周曼曼;贺涛 | 申请（专利权）人： | 浙江弘康半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B05D3/04;B05D3/08;B05D3/12;B05D7/14 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 陈泽元 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种导电有机旋转靶材及靶材的制备方法，其中制备方法包括以下步骤：CNT/石墨粉和PTFE粉末分散，并将其混合均匀；预处理不锈钢基体管；使用火焰喷涂预热基体管；在不锈钢基体上使用可控气氛冷喷涂方法喷涂PTFE粉末制备旋转靶材，工艺参数为：喷嘴进口处工作温度为350℃，压力为2～5Mpa，工作气体为氩气，其压力为2.5～4.5Mpa，温度为450℃，气体流量为20～50m |
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| 搜索关键词： | 一种 导电 有机 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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