[发明专利]光针式共光路干涉共焦位移测量装置与方法有效
| 申请号： | 202110540897.7 | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN113218312B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24;G01B9/02015 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 李长春 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 光针式共光路干涉共焦位移测量装置与方法，属于超精密三维测量技术领域。本发明将激光干涉技术与共焦显微测量技术相结合，提出了利用环形反射镜分光构建单臂干涉测量结构；同时根据干涉、共焦测量原理，提出了采用变区域光强采集方法，可消除由于共焦测量系统与干涉测量系统共光路而引入的信号耦合的影响；此外，通过差、比数据解算方法获得准确的位移值，可同时消除系统中的共模加性和乘性噪声。本发明可有效提高系统的测量准确性和测量稳定性，适用于具有大台阶、高深宽比的微结构几何参数和粗糙表面三维形貌测量，应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 光针式共光路 干涉 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110540897.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
