[发明专利]金属掩膜版框架上机加工表面划伤的表面处理装置及方法有效

专利信息
申请号: 202110543073.5 申请日: 2021-05-18
公开(公告)号: CN113334225B 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 钱超;余洋 申请(专利权)人: 南京深光科技有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B49/12;B24B51/00;B24B55/00;G01N21/88
代理公司: 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 代理人: 梁国海
地址: 211100 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了金属掩膜版框架上机加工表面划伤的表面处理装置及方法,针对人工基础的物理清理方式很难控制打磨处理的力道,基板、掩膜版的相对面会造成二次划伤,从而影响产品的品质的问题,现提出以下方案,包括。底板和控制系统,所述底板的顶部外壁上固定连接有插槽,所述插槽的内壁上插接有插板,所述插板的两侧外壁上均设有等距离分布的插管,所述插管的内部插接有棉球,所述底板的顶部外壁上固定连接有两个支撑杆。本发明驱动扇将风从出风口均匀的吹向与棉球接触的金属掩膜版框架本体表面,带动棉球以适当的力度对金属掩膜版进行划伤处理,有效的避免了金属掩膜版框架本体的二次划伤。
搜索关键词: 金属 掩膜版 框架 上机 加工 表面 划伤 处理 装置 方法
【主权项】:
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