[发明专利]一种高效宽带光栅耦合器有效
| 申请号： | 202110543354.0 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113253386B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 雒翔宇;储涛 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种高效宽带光栅耦合器设计，该设计将光从硅波导中耦合进入顶层介质层，在光栅耦合区域刻蚀顶层介质层波导形成光栅结构，中间多层介质膜及刻蚀区形成的布拉格反射镜共同降低泄露损耗。与此同时，由于光在顶层介质层的光栅图形中出射，使得该设计具有氮化硅光栅的宽带特性。实现了高效宽带的光纤与光芯片耦合，同时实现方法能够与CMOS工艺兼容，无需较小的线宽即可完成制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 宽带 光栅 耦合器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室;浙江大学，未经之江实验室;浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110543354.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
