[发明专利]一种高纯硅靶材与铜背板的钎焊方法在审
申请号: | 202110546685.X | 申请日: | 2021-05-19 |
公开(公告)号: | CN113263237A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K1/20 | 分类号: | B23K1/20;B23K1/00 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种高纯硅靶材与铜背板的钎焊方法,所述钎焊方法包括:对所述硅靶材的焊接面进行镀镍处理;在所述焊接面放置焊料以及铜丝,将所述硅靶材与背板装配,加热进行钎焊,加压条件下使焊料充分浸润焊接面,冷却后完成钎焊。所述钎焊方法可以解决硅靶材在钎焊时的开裂现象,提高硅靶材与背板的焊接结合率,降低单个缺陷率。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 硅靶材 背板 钎焊 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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