[发明专利]一种太赫兹有源超表面振幅型空间调制器

摘要

本发明公开了一种太赫兹有源超表面振幅型空间调制器，包括M×M个阵列排布的像素单元；每个所述像素单元包括MOS管和超表面单元；所述超表面单元包括N×N个阵列排布的谐振超构单元；所述谐振超构单元包括金属层、相变材料层、介质层和谐振模块；所述MOS管与所述金属层连接；通过控制MOS管的导通情况，控制超表面单元的反射状态。本发明的超表面单元可以通过MOS管的通断控制，进行晶态与非晶态的切换，便于通过后续调制手段应用于太赫兹图像产生，产生反射电磁强度或能量空间分布，并经过探测器接受获得个像素点明暗分布不一致的图样图案，实现对太赫兹波前的空间振幅调制，可广泛应用于空间调制器件技术。