[发明专利]一种可跟随磨损薄膜热电偶温度传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110548219.5 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113324669A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 崔云先;曹凯迪;毛银;殷俊伟 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K1/08 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 姜玉蓉;李洪福 |
| 地址： | 116028 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种可跟随磨损薄膜热电偶温度传感器及其制作方法，本发明传感器，包括基底、固定在基底内的第一补偿导线和第二补偿导线、依次沉积在基底上的第一热电极薄膜和第二热电极薄膜。且第一热电极薄膜和第二热电极薄膜相互搭接构成可跟随磨损的热接点区域，还包括沉积在两个热电极薄膜上的保护薄膜。本发明将引线和基底材料烧结形成一体化楔形结构作为基底，在楔形基底斜面上制备有可跟随传感器测温端磨损的薄膜热电偶热接点区域，最后沉积保护薄膜，具有体积小、可跟随磨损、热接点自更新、寿命长、动态响应速度快、灵敏度高等优点。本发明的技术方案解决了现有技术中存在的摩擦磨损表面瞬态温度监测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 跟随 磨损 薄膜 热电偶 温度传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连交通大学，未经大连交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110548219.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
