[发明专利]一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合方法有效

专利信息
申请号: 202110548651.4 申请日: 2021-05-20
公开(公告)号: CN113231705B 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 杨懿;杨荣春 申请(专利权)人: 上海博译金属有限公司
主分类号: B23K1/008 分类号: B23K1/008;B23K35/30;C23C14/34
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201900 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请涉及溅射靶材焊接技术领域,具体公开了一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合方法。其技术要点是:一种溅射镀膜用铬靶材与铜背板的复合方法,包括如下步骤:将镍基非晶带铺设在铬靶材和铜背板之间;将铬靶材和铜背板放入钎焊炉中,抽真空至5*10‑3Pa,进行钎焊;所述镍基非晶带的熔点为950℃;所述钎焊步骤为:于0.65h内均匀升温至500℃后,充入氩气,0.35h内均匀升温至800℃,并保持正压,再于1h内均匀升温至950℃,保温30min,随后于30min内升温至1062℃,保温2min,然后于28min内降温至950℃,最后于4h内均匀降至室温。采用本申请提供的复合绑定方法,得到的靶材组件不易脱靶,结合率高,外观缺陷小。
搜索关键词: 一种 溅射 镀膜 用铬靶材 背板 复合 方法
【主权项】:
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