[发明专利]一种混合结构热沉在审

专利信息
申请号: 202110548948.0 申请日: 2021-05-20
公开(公告)号: CN115377027A 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 沈俊;李赛飞;龚文驰;李振兴;戴巍;海鹏;郑文帅 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/473
代理公司: 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人: 王喆
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种混合结构热沉,包括上盖板、漩涡发生器、主通道、基底、主通道壁;所述基底的上方包括主通道、主通道壁;所述主通道、主通道壁的上方为上盖板和漩涡发生器;所述主通道两端为主通道壁;所述热沉的主通道为n条,n≥1的整数;所述每条主通道在热沉的侧面两端具有热沉冷却液出口;所述漩涡发生器设置在上盖板的中部,位于主通道的上端,由单排狭缝阵列通道组成;所述漩涡发生器的单排狭缝阵列通道数量与热沉的主通道数量相同。本发明的一种混合结构热沉,破坏了热沉内部主通道壁处的边界层,降低压力损失,实现热沉基底温度的均匀性,维持热沉温度稳定。
搜索关键词: 一种 混合结构
【主权项】:
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