[发明专利]片材制作装置以及片材制作方法在审
| 申请号： | 202110548953.1 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113720265A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 壁谷泰宏;本间航也 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;B05C5/00;B05C13/02;B05C1/08;B05C11/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供片材制作装置以及片材制作方法，片材制作装置(1)将涂覆材料涂覆到片材材料(11)来制作多层片材。片材制作装置(1)具备：放射光源，射出放射光；分割部，将放射光分割成入射到多层片材的测定光和照射到参照面的参照光；和光学部件，向多层片材射出测定光，并且入射由多层片材反射后的测定光。片材制作装置(1)还具备：干涉检测部，检测由多层片材反射后的测定光和由参照面反射后的参照光的干涉光；和厚度计算部(62)，基于检测到的干涉光来计算多层片材的片材材料(11)以及涂覆材料的厚度。由此，能够缩短从多层片材的制作到厚度的计算的节拍时间。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 装置 以及 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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