[发明专利]远红外线感测元件及制造方法与感测介电层厚度决定方法在审
| 申请号： | 202110550343.5 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN115394753A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡明翰;胡志帆 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538;H01L27/16;H01L21/768;G01B11/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种远红外线感测元件及制造方法与感测介电层厚度决定方法。该远红外线感测元件形成于一基板上，该远红外线感测元件包含：一感测区，形成于该基板上，该感测区用以感测远红外线信号；以及一感测介电层，形成于该感测区上，具有一感测介电层厚度，且该感测介电层厚度由一牺牲金属层所决定。 | ||
| 搜索关键词： | 红外线 元件 制造 方法 感测介电层 厚度 决定 | ||
【主权项】：
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