[发明专利]无透镜叠层衍射图像重构方法、系统、设备和存储介质有效

专利信息
申请号: 202110553085.6 申请日: 2021-05-20
公开(公告)号: CN113281979B 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 张永兵;何超;季向阳 申请(专利权)人: 清华大学深圳国际研究生院
主分类号: G03H1/04 分类号: G03H1/04;G03H1/08
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 江耀纯
地址: 518055 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种无透镜叠层衍射图像重构方法、系统、设备和存储介质。其方法包括:S1.获取空间光调制器的灰度‑相位幅值曲线,以及系统的物理参数;S2.获取目标图案,并将所述目标图案进行K‑1次叠层平移获得K张调制图案;S3.将步骤S2获得的K张调制图案输入至空间光调制器,并在传感器平面对物体经过散射的衍射像进行强度采集以获得衍射强度图像序列﹛I1,…Ii,…IK﹜;S4.将步骤S1获得的灰度‑相位幅值曲线、系统的物理参数以及步骤S3获得的衍射强度图像序列结合ePIE算法进行迭代重构,得到物体高分辨率的幅值和相位分布信息。该方法和系统无需机械扫描或更换介质就可以重构物体高分辨率的幅值和相位分布信息,且需要的图像数量少,鲁棒性高,灵活性强。
搜索关键词: 透镜 衍射 图像 方法 系统 设备 存储 介质
【主权项】:
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