[发明专利]陶瓷件清洗方法在审
| 申请号： | 202110553437.8 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113245279A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王宏伟;张宝辉;符雅丽;郑友山 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种陶瓷件清洗方法，包括：第一清洗过程，采用化学溶液溶解陶瓷件上的颗粒；第二清洗过程，采用指定酸性溶液软化腐蚀陶瓷件上的颗粒以及消弭陶瓷件上的损伤层；第三清洗过程，采用超声波清洗的方式清洗陶瓷件，以去除陶瓷件上残留的颗粒和溶液。本发明实施例提供的陶瓷件清洗方法，可以有效去除陶瓷件上的悬浮颗粒和损伤层，从而可以解决陶瓷颗粒数量超标的问题，提高芯片良率。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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