[发明专利]一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统在审
| 申请号： | 202110554396.4 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113355645A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡国;龚涛;谢俊 | 申请（专利权）人： | 湖南宇诚精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 413000 湖南省益阳*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请公开的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，与现有技术相比，包括：用以监控镀膜工艺设备并且收发控制信号的上位机；与上位机连接的PLC主控模块；与PLC主控模块连接的控制管理模块；连接控制管理模块的第一控制模块以及第二控制模块；与第一控制模块连接的旋转驱动执行模块、转架安装执行模块以及水冷循环执行模块；与第二控制模块连接的温度调控检测模块、气体调控检测模块以及膜厚调控检测模块；与第一控制模块以及第二控制模块通信连接的通讯会话系统；设于镀膜工艺设备上，与通讯会话系统连接的镀膜执行终端以及镀膜检测终端。相较于现有技术而言，其能够集成控制多功能传动装置以及执行终端进行镀膜作业，提高镀膜控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 真空镀膜 旋转 集成 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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