[发明专利]紫外线照射装置在审
| 申请号： | 202110555294.4 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN114078688A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 柳生英昭 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J61/16 | 分类号： | H01J61/16;H01J61/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高起动性的搭载有准分子灯的紫外线照射装置。紫外线照射装置具备多个准分子灯，该多个准分子灯具有封入有包含稀有气体的放电用气体的发光管。多个准分子灯包含以第一封入气体压力封入有放电用气体的第一准分子灯和以低于第一封入气体压力的第二封入气体压力封入有放电用气体的第二准分子灯。第一准分子灯被配置于来自第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外线 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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