[发明专利]一种氧化镓背钝化的太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种氧化镓背钝化的太阳能电池及其制备方法，所述的太阳能电池包括P型硅基体，所述P型硅基体相对的两侧表面分别设置有正面镀层和背面镀层，所述的正面镀层包括由P型硅基体表面向外依次层叠的发射极、正面氧化硅层和正面氮化硅层，所述的背面镀层包括由P型硅基体表面向外依次层叠的氧化硅钝化层、氧化镓钝化层和背面钝化层。本发明利用氧化镓的固定负电荷的场钝化效果，加上氧化硅的化学钝化能够进一步减少数载流子复合；在氧化镓钝化层和P型硅基体之间沉积一层氧化硅钝化层，能够有效降低表面态密度，并提升其化学钝化效果。