[发明专利]离心叶轮防护涂层制备装置及涂层工艺方法有效
| 申请号： | 202110558552.4 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113416922B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 何卫锋;汪世广;李才智;党晓凤;张一豪;杨竹芳 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 张子飞 |
| 地址： | 710051 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离心叶轮防护涂层制备装置，包括真空腔室以及可转动设置于真空腔室内的叶轮夹具；所述离心叶轮可固定安装于叶轮夹具上并随着叶轮夹具同步转动，所述真空腔室侧壁上布置有多个用于对离心叶轮进行涂层制备的沉积靶，本技术方案的涂层制备装置以及涂层工艺方法，在叶轮进气端、排气端和叶尖等部位制备高性能防护涂层，可大幅提高离心叶轮抗冲蚀/冲刷与耐腐蚀等性能指标，同时兼顾叶片的耐久极限，从而提高复杂环境下离心叶轮的可靠性和使用寿命，具有显著的经济效益；另外相对于现有设备，增加了两个金属离子注入靶，在制备涂层前进行离子注入的前处理工艺，提高涂层与基体的结合力，进一步提升离心叶轮的防护性能。 | ||
| 搜索关键词： | 离心 叶轮 防护 涂层 制备 装置 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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