[发明专利]一种石英反应腔的清洗方法有效
| 申请号： | 202110560081.0 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113231407B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张哲;许正贤;刘波 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/023 | 分类号： | B08B9/023;B08B9/027;B08B9/08 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石英反应腔的清洗方法，包括以下步骤：以预设数量的保温石英封堵所述石英反应腔的炉口，所述保温石英的数量少于20片；以及以分段式时间管控方式对所述石英反应腔进行清洗。本发明通过减少保温石英的数量来减低清洗时石英反应腔的温度，使得该温度控制在目标温度范围内，避免了蚀刻气体与石英发生反应，从而避免了石英反应腔内的石英破损，提高了石英反应腔的寿命，降低设备成本，也降低了石英反应腔内的石英破损造成的颗粒残留物污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 反应 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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